Engenharia Ceramics Inc. (EC © ™) Relatório:
ECA vácuo alimentação- Resumo técnico
A CE é especializada em alimentação de vácuo de alto desempenho, como:
✔ Isolador de cerâmica para isolamento de tensão ultra alta (Al₂o₃/ALN)
✔ Tecnologia de brasagem a vácuo (taxa de vazamento <10⁻⁹ mbar · l/s)
✔ Selagem hermética para bombas turbo moleculares/íons (compatível com UHV/XHV)
✔ Configurações personalizadas para aplicações de semicondutor, aeroespacial e pesquisa
Tabela 1: Classificação com base no princípio operacional
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tipos |
Teoria da operação |
Vacuum final (PA) |
Principais características |
Principais usos |
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Bomba de palheta rotativa |
Transição com uma van rotativa |
1e-1 ~ 1e2 |
Tipo de vedação de óleo, manutenção necessária |
Bomba clemenoril/traseira |
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Bomba de rolagem a seco |
Compressão a gás por espirais orbitais |
1E-2 ~ 1E1 |
Vibração sem óleo e sem óleo |
Equipamento de laboratório |
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Soprador de raízes |
Transporte de gás usando lóbulos rotativos de contador |
1e-1 ~ 1e3 |
Alta taxa de transferência, geralmente multi-camada |
Sistema de vácuo industrial |
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Bomba de difusão de óleo |
Transferência por Jet Momentum |
1E-7 ~ 1E-4 |
Sem peças móveis, armadilhas frias necessárias |
Deposição de vigas eletrônicas |
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Bomba Molecular Turbo |
O rotor de alta velocidade (> 60k rpm) colide com moléculas |
1E-9 ~ 1E-6 |
Limpeza, vibração sensível |
Máquina de ciências UHV |
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Bomba criogênica |
Condensação de gás em superfícies <20k |
<1e-10 |
O vácuo máximo e a regeneração regular necessária |
Simulação do ambiente espacial |
Tabela 2: Classificação por nível de vácuo
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Faixa de vácuo |
Pressão (PA) |
Tipo de bomba ideal |
Considerações técnicas |
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Vácuo grosso |
1E5 ~ 1E2 |
Vane rotativa, diafragma |
Suporte de alta pressão com reator de gás |
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Baixo vácuo |
1E2 ~ 1E-1 |
Raízes + palheta rotativa |
Velocidade vs. eficiência de energia |
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Alto vácuo |
1e-1 ~ 1e-7 |
Difusão, |
Prevenção de Backstream |
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Vacuum ultra-alto (UHV) |
1E-7 ~ 1E-10 |
Íon, criopump |
A seleção de material é importante |
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Vácuo extremamente alto |
<1e-10 |
Híbrido-Crinysistema de íons |
Ambiente de nível quântico |
Guia de seleção de bomba a vácuo
Critérios de seleção -chave
1. Nível final de vácuo
O nível de vácuo necessário deve atender às especificações do processo. por exemplo:
- Na fabricação de semicondutores, geralmente são necessários níveis de vácuo abaixo de 10⁻⁶ PA.
- Nos processos industriais, ele pode funcionar efetivamente na faixa de 10 ⁻ a 10² PA
2. Velocidade de bombeamento
Medido em litros por segundo (l/s) ou metro cúbico por hora (m³/h)
Escolha o tamanho certo para sua capacidade de câmara e carga de gás
Aplicações de alto rendimento (por exemplo, fornos a vácuo) podem exigir mais de 1.000 m³/h
3. Compatibilidade a gás e químico
- Uso padrão: materiais padrão (aço inoxidável, alumínio)
- Ambiente corrosivo: são necessários materiais especiais, por exemplo:
- Peças de revestimento PTFE (para resistente ao ácido)
- Hastelloy ou liga de níquel (para produtos químicos poderosos, como cloro)
4. Eficiência e manutenção energética
- Bomba de vedação de óleo:
- baixo custo inicial
- São necessárias alterações regulares de óleo (a cada 2.000 a 4.000 horas)
- O risco de contaminação por petróleo através de processos sensíveis
- Bomba seca (sem óleo):
- Alto investimento inicial
- Não é necessária manutenção (sem troca de óleo)
- Recomendado para processos limpos (por exemplo, medicamentos, alimentos)
A terminologia principal abordada neste texto é a seguinte:
1. Vedas a vácuo - uma vedação a vácuo, tecnologia de vedação a vácuo de dedos e alimentação a vácuo são eficazes (conexão de vedação).
2. Parte através da parte (かんつうぶ)-A parte através da parte, geralmente se refere a peças que passam por paredes ou partições e às vezes são usadas para descrever estruturas semelhantes ao vácuo.
3. Furanzi - flange, comumente usado em componentes de conexão do sistema a vácuo, o hardware relacionado ao vácuo pode envolver esse termo.
4. Conector de vácuo - conector de vácuo, conector de vácuo no ar e a capacidade de acessar a alimentação.
5. Penetração de isolamento - Capacidade de executar durante a alimentação de vácuo.
Essas palavras não são totalmente equivalentes a "alimentação a vácuo", mas podem ser usadas como aproximações ou termos relacionados sob determinadas circunstâncias. Qual idioma usar depende de detalhes técnicos e normas do setor, por isso é recomendável que você se refira à literatura especializada relevante ou consulte um especialista para garantir a precisão.
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